集成电路无尘车间需不需要加湿机_行业新闻

集成电路无尘车间需不需要加湿机

栏目：行业新闻时间：2023-02-01 21:29:41

　　集成电路无尘车间需不需要加湿机：集成电路无尘车间是为了满足半导体制造工艺需求的洁净室，该无尘车间对环境洁净度、温湿度、振动、ESD、AMC控制等都有一定的要求。相对于其他工业洁净室，集成电路制造无尘车间有面积大、洁净等级高、温湿度控制精度高等特点。集成电路制造对无尘车间环境的控制有较为严格的要求。不同的工艺制程对洁净度的要求也各不相同，例如光刻要求在1级的微环境下，而化学机械研磨则只要求1000级的环境即可。

　　可以说集成电路无尘车间在对环境的要求上达到极致，不光只是温湿度上门有要求，而且对噪声、微振、照度等都有相关的规定和要求，尤其是振动的控制，在洁净室的建筑结构设计上就要有所要求。

　　好的洁净车间设计不仅能节省能源、降低运行成本、降低人力投入，而且可以给生产提供安全可靠的保证。现在很多集成电路洁净厂房多采用FFU循环系统，这种循环系统的特色是整个洁净室由静压层、工艺层、工艺辅助层和回风通道组成，由FFU提供循环空气的动力，将新风、循环风混合后通过超高效过滤器送入工艺层和工艺辅助层，静压层相对于工艺层为负压。此外，还有生产辅助区为集成电路制造厂务设备区域，包括电力供应、气体和化学品供应、超纯水供应等。

　　在这个系统中，温湿度的控制也被纳入管理，由于洁净空调系统的能耗占其中的30%以上，所以一个节能安全的温湿度控制设备就非常重要了，特别是湿度控制，因此如何选择好的湿度控制设备可以帮助无尘车间进行节能，可以更好的控制空气湿度，这样就不会出现境地灰尘，影响产品质量。

　　湿度控制设备有很多，对于FFU循环系统来说可以选择恒湿机，或者是加湿机，加湿机的节能效果很明显，而且在防范静电灰尘的功能上也不弱，所以它成为很多集成电路无尘车间在冬天使用控湿的首选，毕竟冬天空气干燥，对集成电路生产很大，不得不防。安诗曼加湿机，采用超声波雾化技术，加湿速度快，操作简单方便，是集成电路无尘车间加湿防静电的收选择。